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微探针平台可用于研究材料在不同温度下的电学及光学性质, 典型的应用包含深能级瞬态谱,IC,MEMS, 红外探测器,显微操作等
主要参数：
探针类型：钨探针或光纤
可控探针数：2~7
探针移动范围：25 mm x 25 mm x 6 mm
定位精度：50um
温度：70~730K；80~580K；70~580K；80~730K；室温~730K（可选）
温度稳定度：<=0.05K
温度响应：1K/sec
致冷片：10X14 mm
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