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高精密平移台(亚纳米级)
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高精密平移台(亚纳米级)

SmarAct 凭借其独特的专业技术,为工业及科研实验室用户提供高精度(亚纳米级)、紧凑的纳米定位/位移平台,量测产品。各系列产品广泛应用于高能研究装备(同步加速器、粒子加速器、自由电子激光器等)、半导体及光电子技术(包括大数据、AI、6G、IoT、自动驾驶等)、光学显微、生命科学等传统及前沿领域。
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所属分类
运动控制
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产品详情

SmarAct 凭借其独特的专业技术,为工业及科研实验室用户提供高精度(亚纳米级)、紧凑的纳米定位/位移平台,量测产品。各系列产品广泛应用于高能研究装备(同步加速器、粒子加速器、自由电子激光器等)、半导体及光电子技术(包括大数据、AI、6G、IoT、自动驾驶等)、光学显微、生命科学等传统及前沿领域。

部分产品可以在极端条件下使用并确保其可靠性及耐用性,如超真空、超低温、无磁场及X 射线辐射环境下。

  1. 线性运动平台

线性运动平台包括SLC 系列、CLS 系列、CLL 系列、MLS 系列、MLL 系列、DLS 系列、PLF 系列、SL 系列,根据不同的系列,行程可达4.5mm ~405mm,精度可小于1nm,不超过150nm(单向重复精度)。各系列互相兼容,用户可以根据应用组合成复杂的多轴系统。

  1. MR 及SR 系列旋转平台

SmarAct 基于不同的驱动技术,提供规格的紧凑型高精度的旋转平台,包括真空及超真空的、以及非磁性旋转平台。各系列旋转平台与其他定位/移动平台可以自由组合成更复杂的旋转定位系统,平台经久耐用可以连续及无限制的进行机械性的旋转。

SR系列旋转台其中可小至25x20x8.5mm,大至120x120x12mm。不同型号在开环情况下分辨率可小于1µ°。

  1. 高荷重平台

CHS和SHL系列的线性平台是专门为处理重载荷而设计的。机械设计基于驱动楔,保证了工作台运动的高分辨率。单独的导轨确保沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器进行直接位置反馈和闭环操作。具有一个自由度的平台,用于纯粹的垂直提升运动,可以配备一个额外的恒力弹簧(CFS),以将有效载荷增加到更高的值。CHS垂直平台配备了SmarAct的可交换驱动单元,便于维护。CHS和SHL系列还可以组合在一起,在所有三个维度上形成高阻塞力的多轴系统。

不同型号,垂直行程大可达20mm,小可以到1mm;大荷重可达80N,小也可以到5N。

  1. 角位移台

角位移台都基于SmarAct的压电驱动技术。角位移台有不同的半径。除了它们的紧凑性,这些位移台是非常刚性的,因此非常适合微米或纳米定位任务。

由于采用高精度交叉滚子轴承,其角精度非常高。角位移台在±5°的整个工作范围内提供优秀的运动分辨率。

通过将两个平台与合适的半径结合起来,可以构建一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉架角位移台。

它们的机械接口适合SLS-52模块化系统。因此,允许通过线性位移台,旋转台和角位移台的直接组合来创建多轴系统。角位移台可以通过我们的任何控制单元进行操作,也可以与集成的定位传感器一起使用。此外,SGO系列可用于不同的环境条件,例如高真空和超高真空环境。

SGO系列包括三个角位移台:SGO-60.5,SGO-77.5和SGO-93.5。前两个可以直接安装在彼此的顶部,以形成欧拉架角位移台。由于半径大,后一个是用于复杂子系统或较大部件的理想倾斜平台。在上面描绘的渲染图中,绿色球形表示给定角位移台或系统的旋转中心。

可以对SGO系列角位移台进行修改以适合特定要求,并且可以对其进行定制以集成到现有装置中。我们已经设计了许多定制解决方案,其中包括角位移台。请随时与我们联系,为您的应用找到理想配置。我们期待与您讨论您的个人要求。

  1. 定位系统

当涉及到样品和工具的精确定位时,科学和工业中的大多数应用都需要一个以上的自由度。SmarAct的使命是成功地解决您的特定定位任务,并使您完全满意。从平面上的组件和样品定位到高度复杂的3D定位任务:SMARBOTIC定位系统旨在精确地满足您的挑战。

  1. 微型夹持器

在自动装配线上精确地操纵部件、零件和工具,以及在生命科学中进行样品操纵和调节,是较关键的定位任务。为了满足日益增长的需求,以非常高的精度控制镊子,钳子和夹持爪,我们补充了我们的产品组合与多功能抓取解决方案。

模块化是我们产品的关键特性之一。我们所有的夹持器包括一个线性压电位移台和一个夹持爪,可以很容易地替换和定制,如果需要的话。有几种不同的和专门的夹持爪设计可供选择。

当配备位置传感器时,夹持器允许对夹持过程和钳口打开进行全闭环控制。此外,将力传感器集成到我们的并联微夹持器SGP-17F中,在处理易碎或高度精密的物体时,不仅可以控制夹持爪开口,还可以控制夹持力。如果您的特定应用程序需要专门的设计,请随时与我们的应用程序专家联系,讨论可能的解决方案或完全定制的设计。

  1. 控制系统及软件

每一个成功的定位解决方案都至少依赖于两个支柱。第一个是由解决方案的机械部分定义的,第二个是由电子和软件控制的。我们复杂且易于使用的控制系统,以及直观的软件解决方案和软件开发工具包(SDK),是将我们的定位技术快速轻松地集成到您的应用程序中的基础。SmarAct的控制系统组合包括各种针对不同应用和集成场景优化的组件。从单通道手持式控制器到最多18个通道的机架安装模块,我们能够为您配备正确的工具。

  1. 测量方案

SmarAct提供了一系列的测量解决方案,广泛应用于工业和学术环境。

我们的PICO SCALE产品基于光学方法,用于位移和振动的非接触式测量。使用高带宽激光干涉仪,可以以低至pm的分辨率跟踪位移和振动。有多种选项可用于使测量适应您的确切要求。

位移测量

PICOSCALE干涉仪,用于高精度位移测量。

振动测量

PICOSCALE振动计,用于小样品的模态分析。

测量服务

SmarAct提供的全新计量测量服务。

关键词:
高精密平移台
线性运动平台
SmarAct
亚纳米级
纳米定位平台
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