SmarAct高精密平移台技术介绍
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- 来源:
- 发布时间:2023-03-29 10:17
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【概要描述】SmarAct 凭借其独特的技术,为工业及科研实验室用户提供高精度(亚纳米级)、紧凑的纳米定位/位移平台,量测产品。各系列产品广泛应用于高能研究装备(同步加速器、粒子加速器、自由电子激光器等)、半导体及光电子技术(包括大数据、AI、6G、IoT、自动驾驶等)、光学显微、生命科学等传统及前沿领域。
SmarAct高精密平移台技术介绍
【概要描述】SmarAct 凭借其独特的技术,为工业及科研实验室用户提供高精度(亚纳米级)、紧凑的纳米定位/位移平台,量测产品。各系列产品广泛应用于高能研究装备(同步加速器、粒子加速器、自由电子激光器等)、半导体及光电子技术(包括大数据、AI、6G、IoT、自动驾驶等)、光学显微、生命科学等传统及前沿领域。
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- 粘滑驱动技术
SmarAct粘滑驱动压电位移台配备了特定的驱动器,将宏观行程与纳米分辨率和每秒几毫米的高速结合在一起。粘滑压电驱动的工作原理如下所述。
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- SMARFLEX 压电技术
基于该技术的Scanner Stage(微扫描平台)利用压电驱动机械柔性的优势,实现高达100 μm行程的高精度定位任务。在应用于如AFM 等的扫描场景时,其可以提供最快的扫描速度以及最小的扫描误差。同样地,在应用于光学显微领域,它可以提供非常精确的聚焦效果以及镜片倾斜、光纤的精准耦合。
- SMARSHIFT 电磁式驱动技术
基于该技术,SmarAct可以为工业及实验室自动化用户提供紧凑的、高速的、有力的、纳米级精度运动平台,满足其日常高使用率及耐用性的需求。
电磁驱动技术可以为移动平台提供最快1米/秒的移动速度,且非常耐用以及几乎免维护的可靠性能。
- SMARBOTIC 多自由度技术
基于SMARBOTIC, SarmAct 为工业及科研用户提供了多种的多轴及多自由度系统集成、优化方案。SmarPod和TriPod等标准产品可以快速集成到客户设置中。SMARBOTIC还提供标准系统的定制,以及根据客户规格开发高度定制化的集成操作系统。