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3D非接触表面分析测量技术广泛用于各行各业的测量小位移和微小单位表面的不规则性,通常用于微加工产品规格的一致性,产量和产品质量。它提供了极致的高精度,可重复和可保存的测量结果。当内置在显微镜设备中,使用三维激光扫描或结构光时,这套显微镜3D表面测量系统所提供的高度、宽度、角度、半径、体积和粗糙度、表面状况的数据,比其他任何纳米级轮廓测量系统更准确。
但是高精度,纳米级的3D表面测量系统会受到低频振动的不利影响,从而使成像失真,并产生不准确的测量读数。这会导致制造商的生产过程中的表面测量出现偏差,最后的产品不符合规格
低频振动的来源和影响
当以如此高的精度进行测量时,任何仪器都可能受到制造工厂内部产生的低频振动的不利影响。这些会扭曲测量结果并影响成像和测量数据。如果没有在3,000到5,000倍的放大倍数下进行正确的隔振表面测量,则振动可能会导致图像模糊和图像质量下降。振动可能是由工厂内的多种因素引起的。每个结构都在传播噪音。在建筑物内部,生产机械,叉车,供暖和通风系统,风扇,泵,压缩机和电梯只是产生低频振动的一些机械设备。根据表面测量仪器与这些振动源的距离以及仪器在结构内部的位置(无论是在生产车间还是在阁楼中),将决定对仪器的影响程度。在建筑物外部,设备可能会受到卡车运动,道路交通,附近建筑,飞机发出的巨大噪音,甚至大风大雨和其他可能导致结构移动的天气条件的影响。
MinusK公司成立于1993年,自立于开发和制造高质量的隔振产品,产品应用包括纳米技术、生物科学、半导体、材料研究、航天器的零重力模拟和高端音频。基于现场测试和用户的评价,MinusK隔振台性能比空气隔振台高出10-100倍,同时也优于主动减振系统
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